Alle Medien unter Kontrolle
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Schaltag für OC Oerlikon Balzers: Mitkonstruktion und Fertigung von Anlagen zur Waferbeschichtung

Für die Metallbeschichtung von Wafern ist höchste Präzision unter Reinraum-Bedingungen Voraussetzung. Die Beschichtungsprozesse in der Vakuumkammer durchlaufen exakt gesteuerte Prozesse unter Einsatz diverser Medien. Das erfordert einerseits eine präzise steuerbare Hardware, andererseits eine programmierbare Steuerung.
Die Aufgaben der Schaltag:

  • Mitkonstruktion im strukturellen Bereich der Produktionsanlagen
  • Auslegung und Bau der Steuerung inkl. Aufbau der Grundanlage
  • Aufbau der Steuerung mit Medienverteilung: Leitungen, Rohre, Schläuche, Ventile und Anschlüsse für Strom, Wasser, Gas, Luft, Vakuum